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本书是作者长期从事直拉硅单晶生长过程数值模拟与工艺优化研究 的总结。书中在概述硅单晶发展前景、主要生长设备及关键工艺的基础 上，介绍直拉硅单晶生长过程数值模拟方法、工艺流程与参数设置、热 系统设计与制造等方面的内容；从介观层面阐述多物理场耦合作用对晶 ...
07-01 [ None ]