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直拉硅单晶生长过程数值 模拟与工艺优化 电子书下载
书名：直拉硅单晶生长过程数值 模拟与工艺优化
本书是作者长期从事直拉硅单晶生长过程数值模拟与工艺优化研究
的总结。书中在概述硅单晶发展前景、主要生长设备及关键工艺的基础
上，介绍直拉硅单晶生长过程数值模拟方法、工艺流程与参数设置、热
系统设计与制造等方面的内容；从介观层面阐述多物理场耦合作用对晶
体生长的影响，并给出关键工艺参数选取方法；提出一系列结合变量检
测、智能优化及先进控制技术的硅单晶工艺研究理论和工程实现方法。
本书在理论和实验两方面均进行详尽阐述并给出部分工程实验结果，具
有问题驱动、理论牵引、内容具体、结合实际、指导性强等特点。
本书对从事晶体生长领域理论研究、技术开发和产业应用工作的高
校教师、科研人员以及研究生具有参考价值。
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